卡套直通過濾器_不銹鋼氣體過濾器_精密高效工藝氣體過濾器

TF系列工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便，僅需氣路對接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險(xiǎn)，確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過濾效率，是工藝氣體凈化的理想之選。

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產(chǎn)品詳情

TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝100%完整性測試

? 100%氨氣檢漏測試

F型直通式過濾器

1、結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間

2、工作壓力可達(dá): 207bar(3000psig)

3、工作溫度:-28~ +482℃

技術(shù)參數(shù)

濾芯材質(zhì)	316L不銹鋼粉末燒結(jié)		殼體材質(zhì)	316L不銹鋼
氦氣驗(yàn)證泄漏率	2x10^-10cc/min		氦氣測試泄露率	1x10^-10cc/min
表面處理	外表面	Ra < 1.6μm	最高使用溫度	惰性氣體	400-500°C
	內(nèi)表面	Ra < 0.2μm		腐蝕性氣體，反應(yīng)氣體	50°C
顆粒攔截效率	≧99.9999999%(9LRV)@30slpm		下游潔凈度	≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm
顆粒攔截粒徑	≧0.003μm