HF系列高壓氣體專用過(guò)濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铩⒈Ｗo(hù)系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換、維護(hù)簡(jiǎn)便。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個(gè)高壓氣體過(guò)濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

4、過(guò)濾效率高、不易堵寒

5、安裝與檢修便捷高效

6、100%完整性測(cè)試通過(guò)

7、100%氨氣泄露檢測(cè)通過(guò)

技術(shù)參數(shù)