恒歌擴散器專用不銹鋼過濾器是專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用精心設計的高性能過濾設備。它巧妙地融合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，實現了在快速排氣的同時，對微小顆粒的高效過濾，過濾精度高達0.003um，為半導體制造過程中的氣體凈化提供了可靠的保障。

產品優(yōu)勢

1、高效過濾與氣流優(yōu)化

高精度過濾：采用先進的不銹鋼粉末燒結介質，能夠有效攔截0.003um級別的微小顆粒，確保氣體的高純度，有效防止微?；烊耄瑥亩鴰椭岣弋a品的合格率，滿足半導體制造對氣體純度的嚴格要求。

優(yōu)化氣流設計：獨特的全316L不銹鋼結構，不僅確保了過濾器的高效過濾性能，還巧妙地規(guī)避了湍流的產生，減少了氣流對工藝室環(huán)境的影響，有效防止氣流吹起顆粒或吹起硅片，保障了工藝過程的穩(wěn)定性和產品質量。

2、優(yōu)質結構與廣泛適用性

堅固耐用的結構：整體采用316L不銹鋼材質，具備卓越的耐高溫、耐高壓和耐腐蝕性能，能夠適應各種嚴苛的工藝環(huán)境，確保過濾器在長期使用過程中的穩(wěn)定性和可靠性。

廣泛適用性：適用于多種工藝氣體，無論是常見的惰性氣體還是具有特殊性質的反應氣體，都能實現高效的過濾和穩(wěn)定的氣流控制，為不同的半導體制造工藝提供定制化的解決方案。

潔凈制造與嚴格檢測：在潔凈室環(huán)境中進行制造、測試和包裝，確保過濾器在出廠前就達到高潔凈度標準。同時，經過100%完整性測試和100%氨氣泄露檢測，保證了每一個過濾器都具備卓越的密封性能和過濾效果，讓用戶在使用過程中無后顧之憂。

3、靈活定制與便捷安裝

可定制化設計：DF系列擴散器專用過濾器可根據不同的安裝空間和工藝需求進行靈活定制，無論是緊湊的空間還是特殊的安裝位置，都能提供合適的解決方案，滿足用戶的個性化需求。

快速排氣：得益于其獨特的結構設計和高效的過濾介質，過濾器能夠實現快速排氣，顯著縮短了真空腔體的放氣時間，提高了生產效率，為半導體制造過程中的快速工藝轉換提供了有力支持。

DF系列擴散器專用過濾器以其卓越的過濾性能、優(yōu)化的氣流設計、堅固耐用的結構以及靈活的定制化能力，為半導體制程中的真空腔體快速放氣應用提供了理想的解決方案，是確保氣體純度、提高產品合格率、保障工藝穩(wěn)定性的重要設備。