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高純高壓氣體過濾器
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電子級特氣氣體過濾器_特氣柜電子氣氣體過濾器

  • 在半導體、LED、光伏及MEMS等高科技產業中,氣體的純度對產品質量和生產效率有著至關重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結工藝領域的深厚積累,精心打造了專為高流量電子級氣體超純凈化設計的特氣柜電子氣氣體過濾器,為這些行業提供了一種可靠的氣體凈化解決方案。
  • 產品詳情

在半導體、LED、光伏及MEMS等高科技產業中,氣體的純度對產品質量和生產效率有著至關重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結工藝領域的深厚積累,精心打造了專為高流量電子級氣體超純凈化設計的特氣柜電子氣氣體過濾器,為這些行業提供了一種可靠的氣體凈化解決方案。

一、產品特點

● 超高過濾精度:過濾精度高達0.003μm,能夠有效去除氣體中的微小雜質顆粒,確保氣體的超高純度,滿足半導體制造等高精密行業的嚴格要求。

● 緊湊與高強度結構:結構設計緊湊,同時具備高強度,這不僅使得過濾器在有限的空間內能夠高效工作,還能夠承受較大的工作壓力,保證在高流量氣體供應過程中的穩定性和可靠性。

● 廣泛的氣體兼容性:與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。無論是常見的氮氣、氬氣等惰性氣體,還是其他特殊工藝氣體,都能確保良好的過濾效果,不會與氣體發生化學反應,從而保障氣體的純度和工藝的穩定性。

● 全焊接316L不銹鋼外殼:采用全焊接的316L不銹鋼外殼,這種材質具有優異的耐腐蝕性和耐高溫性能,能夠確保過濾器在各種惡劣的工作環境下長期穩定運行,同時與多數高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性,有效防止氣體污染,保障氣體的純度。

二、應用場景

● 大流量特種氣體供應:在需要大量供應特種氣體的生產過程中,如半導體制造中的外延生長、離子注入等工藝,該過濾器能夠提供穩定的高純度氣體,確保工藝的順利進行和產品質量的穩定。

● 超高純度氣棒連接:在氣棒與設備連接的過程中,氣體的純度至關重要。該過濾器能夠為超高純度氣棒提供超高純度過濾,有效去除氣棒中可能存在的雜質,保障氣體在傳輸過程中的純度,避免因氣體雜質導致的設備故障和產品質量問題。

● 半導體、LED、光伏及MEMS設備連接:在這些高科技設備的連接中,氣體的純度直接影響設備的性能和使用壽命。該過濾器能夠滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求,為設備提供超高純度的氣體,確保設備的穩定運行和高性能輸出。

三、定制化服務

恒歌科技深知不同客戶在生產工藝和設備配置上的差異,因此提供定制化服務。根據客戶的特定需求,如氣體類型、流量要求、安裝空間等,設計和制造符合其工藝要求的過濾器。這種定制化服務能夠確保過濾器與客戶的生產系統完美匹配,最大限度地發揮其過濾效果,同時為客戶節省成本和時間。

四、行業優勢

● 專業研發團隊:恒歌科技擁有一支專業的研發團隊,專注于多孔金屬材料和精密燒結工藝的研究與開發,不斷探索新的技術突破,以提升過濾器的性能和質量。

● 嚴格的質量控制:從原材料采購到產品生產,再到最終的出廠檢驗,恒歌科技都建立了嚴格的質量控制體系。每一件過濾器都經過精密的檢測和測試,確保其符合高標準的質量要求,為客戶提供可靠的產品保障。

● 完善的售后服務:恒歌科技為客戶提供完善的售后服務,包括產品安裝指導、技術培訓、售后維修等。在客戶使用過程中遇到任何問題,都能得到及時有效的解決,讓客戶無后顧之憂。

恒歌特氣柜電子氣氣體過濾器以其卓越的性能、廣泛的應用場景和專業的定制化服務,成為了高流量電子級氣體超純凈化領域的理想選擇。它不僅能夠有效保障氣體的超高純度,還能滿足各種復雜工藝需求,助力半導體、LED、光伏及MEMS等高科技產業的高質量發展。


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