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恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導體行業集成氣體輸送與控制系統設計的高性能氣體過濾設備。該過濾器采用全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm，...

恒歌納米級高壓氣體專用過濾器，專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統量身打造。其采用堅固的 316L 不銹鋼整體結構，設計壓力達 50Mpa，重量相對較輕，實現輕量化與小型化，減少安裝空間，通過螺紋連接確保密封性，兼容 C...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質，線型結構緊湊，用于空間受限的環境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護下游流體設備。最高工作壓力可達207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應用于實驗室、...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決...

?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體，能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質，確保氣體的純凈度和質量，為下游工藝提供可靠的氣體供應。

半導體潔凈室對氣路系統的密封性要求極高，任何微小的泄漏都可能導致潔凈度下降，影響產品質量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器)，以全焊接結構設計為核心，實現了 “零泄漏” 的密封效果，為半導體潔凈室提供可靠的工藝...

這款半導體制造超純氣體擴散器，巧妙地結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達 0.003um，能夠精準地攔截氣體中的微小顆粒，為半導體制造提供超純的氣體環境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝，都離不開這樣高純度的氣...

恒歌MF系列儀器保護專用過濾器，全金屬材質，專為半導體氣體分配系統設計，兼容1/4”、3/8’及1/2‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝，是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。

恒歌RF 系列多孔金屬限流器通過與不同規格的氣阻配件靈活組合，可便捷安裝于壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中。在半導體制程氣體輸送分配系統等對氣體流量穩定性要求極高的場景下，它能有效防止意外高氣體流量，保護系統穩定可靠運行，減少氣體流動負擔，...

不銹鋼氣源處理器三聯件由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大元件組成。該產品采用不銹鋼材質，具有耐腐蝕、結構精巧、工藝精良等特點。空氣過濾器用于凈化氣源，過濾壓縮空氣中的水分和雜質；減壓閥則對氣源進行穩壓，確保氣壓恒定，保護氣動系統中的閥門和執行...

DF系列擴散器專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規避了湍流產生，...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決...