恒歌TF 系列全焊接直通型過濾器用于過濾系統粒子狀污染物,去除氣體或液體應用中的顆粒污染物。

恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統設計的高性能過濾設備，過濾精度高，耐高壓耐腐蝕耐高溫！

恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫...

在半導體潔凈室這一特殊生產環境中，工藝氣體過濾器不僅需要具備精準的過濾能力，還需擁有出色的耐用性和抗污染能力，以適應長期穩定的潔凈生產需求。深圳恒歌TF系列工藝氣體專用過濾器中，以316不銹鋼卡套過濾器為代表的產品，憑借頂級316不銹鋼材質...

在半導體制造過程中，UHP超純氣體作為關鍵生產介質，其純凈度直接決定芯片的電路精度與使用壽命。一旦超純氣流中混入微小顆粒，輕則導致芯片出現瑕疵，重則引發整批次產品報廢，給企業帶來巨大經濟損失。深圳恒歌研發的超純氣流微粒直通一體式過濾器，專為...

半導體企業在發展過程中，會面臨不同階段的挑戰：新建產線時要搶工期、控成本;老舊設備升級時要兼顧適配性與性價比;多品類芯片生產時要應對不同工藝的差異化需求。這些挑戰中，工藝氣體過濾環節若掉鏈子，很容易拖慢整體進度。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體...

?在半導體制造領域，對于超純工藝氣體的需求極為嚴苛。微小的雜質顆粒都可能對芯片制造等高精度生產環節產生嚴重影響，導致產品質量下降甚至報廢。因此，精準清除 UHP 超純氣流中的微粒，保障生產環境的純凈度，成為了半導體生產過程中的核心任務之一。...

半導體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個工藝環節，不同環節對工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規格的過濾器難以滿足全場景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器，通過 F 型、T 型、W 型三大類型的細分設計，實現了對半導體多工藝...

在半導體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開設備實現，不僅增加了氣路復雜度，還可能引入額外的泄漏風險。深圳恒歌研發的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥，將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導體高壓氣路提供 “凈化 + ...

深圳恒歌的不銹鋼真空泵過濾片，是真空系統的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內傳遞大量氣體流，確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

深圳恒歌的真空卡環過濾器，是真空系統中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內傳遞大量氣體流，確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

想要讓空壓機系統持續輸出質量穩定的壓縮氣體，同時維持設備的高能效運轉，定期對核心部件進行維護必不可少，其中精密過濾器濾芯的定期更換尤為關鍵。長期以來，不少使用者習慣通過觀察過濾器前后的壓力差值來判斷濾芯是否該更換，畢竟這一指標能直觀反映設備...