在半導體制造的超高純工藝中，氣體純度直接決定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗氣體專用過濾器，正是為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾量身定制的核心設備。

作為大宗氣體過濾器的標桿產品，其采用全 316L 不銹鋼精密打造，從材質源頭確保無雜質釋放，完美適配嚴苛的半導體潔凈環境。多柱狀或疊盤狀介質設計是其關鍵優勢，既能實現高流通量，滿足大產能生產線的氣體供應需求，又能保持低阻損，避免因過濾環節影響工藝穩定性。針對不同客戶的生產線布局與工藝參數，有特殊需求可定制加工，進一步提升設備與生產環境的適配性。

產品特點：

● 整體 316L 不銹鋼結構，杜絕二次污染

● 高通量、低阻力，適配大產能生產需求

● 過濾精度達 0.003μm，超高顆粒攔截率

● 耐高溫高壓，應對復雜工藝環境

● 100% 完整性與氨氣檢漏測試

● 支持定制加工，滿足特殊需求