深圳恒歌 DF 系列氣體擴散器過濾器，是專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用打造的核心裝備。這款產(chǎn)品創(chuàng)新性融合了擴散器的優(yōu)化氣流特性與高效過濾器的精密攔截能力，通過獨特的結構設計，在實現(xiàn) 0.003μm 超高過濾精度的同時，徹底規(guī)避排氣過程中的湍流干擾，為光刻、蝕刻等核心制程的真空腔體環(huán)境提供全方位保護，堪稱半導體制造中的 “潔凈衛(wèi)士”。

產(chǎn)品特點

● 納米級精準過濾：采用不銹鋼粉末燒結介質(zhì)，過濾精度達 0.003μm，有效攔截超細微顆粒，防止工藝污染。

● 湍流控制設計：全 316L 不銹鋼結構優(yōu)化氣流路徑，避免排氣時產(chǎn)生湍流，防止顆粒揚起或硅片移位。

● 全材質(zhì)防腐耐用：整體 316L 不銹鋼打造，耐高溫、耐高壓且耐腐蝕，適配各類嚴苛工藝氣體環(huán)境。

● 潔凈級生產(chǎn)保障：從制造、測試到包裝全程在潔凈室完成，通過 100% 完整性與氦氣泄漏檢測。

● 靈活定制適配：可根據(jù)安裝空間個性化設計，完美適配不同腔體布局與氣路系統(tǒng)。

應用場景

作為關鍵的工藝保護組件，廣泛應用于微電子半導體晶圓制程中各類真空腔體的快速放氣環(huán)節(jié)：在光刻工藝腔室中，保障排氣時硅片表面不受顆粒污染;在蝕刻設備中，防止湍流干擾工藝氣體分布;在薄膜沉積系統(tǒng)中，通過超純過濾提升薄膜均勻性。尤其適配需要頻繁進行真空破真空操作的生產(chǎn)設備，為 12 英寸及更大尺寸晶圓制造提供穩(wěn)定的潔凈環(huán)境支持。