高純氣體系統(tǒng)用氣體過(guò)濾器，是依據(jù)碰撞、擴(kuò)散和截獲機(jī)理將氣體中粒子過(guò)濾掉的裝置。以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹：

一、作用與重要性

在超高純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動(dòng)或氣流沖擊所造成的脫落粒子，應(yīng)在閥門(mén)和配件下游和使用氣前安裝過(guò)濾器。這在高純氣體系統(tǒng)中尤為重要，因?yàn)榧呻娐钒l(fā)展到兆位級(jí)后，對(duì)超凈提出了更嚴(yán)格要求。例如，SEMI標(biāo)準(zhǔn)對(duì)10011級(jí)以管道供給的氮和氬氣中規(guī)定≥0.1μm粒子≤0.4個(gè)/L;16MDRAM用氣中>0.1μm的粒子<1個(gè)/L。

二、選型與規(guī)格

粒子過(guò)濾器的選型及規(guī)格視氣體控制規(guī)范而定。過(guò)濾器殼體一般采用316不銹鋼，濾芯有燒結(jié)的多孔金屬濾芯、耐腐蝕耐熱的鎳基合金、100%鎳合金、鋁陶瓷、Teflon膜、陶瓷膜等。

三、應(yīng)用場(chǎng)景

高純氣體系統(tǒng)用氣體過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于各種需要高純氣體的場(chǎng)合，如半導(dǎo)體生產(chǎn)、集成電路制造、生物醫(yī)藥、食品加工、實(shí)驗(yàn)室等。在這些場(chǎng)合中，氣體中的微小粒子可能會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)效率或人員健康造成嚴(yán)重影響，因此需要使用高純氣體系統(tǒng)用氣體過(guò)濾器來(lái)確保氣體的純凈度。

四、品牌與供應(yīng)商

市場(chǎng)上存在多個(gè)知名品牌和供應(yīng)商提供高純氣體系統(tǒng)用氣體過(guò)濾器，如恒歌等。這些品牌和供應(yīng)商通常具有豐富的經(jīng)驗(yàn)和先進(jìn)的技術(shù)，能夠?yàn)榭蛻籼峁└哔|(zhì)量、可靠的氣體過(guò)濾器產(chǎn)品和解決方案。

五、價(jià)格與維護(hù)

高純氣體系統(tǒng)用氣體過(guò)濾器的價(jià)格因品牌、型號(hào)、規(guī)格等因素而異。一般來(lái)說(shuō)，高品質(zhì)、高性能的氣體過(guò)濾器價(jià)格相對(duì)較高。同時(shí)，為了確保氣體過(guò)濾器的持續(xù)有效運(yùn)行，需要定期進(jìn)行維護(hù)和更換濾芯等操作。這些操作可能會(huì)增加一些額外的成本，但相對(duì)于因氣體污染而造成的損失而言，這些成本是值得的。

正確選擇和使用氣體過(guò)濾器可以確保氣體的純凈度，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。因此，在選擇氣體過(guò)濾器時(shí)，需要綜合考慮多個(gè)因素，包括氣體控制規(guī)范、濾芯材質(zhì)、應(yīng)用場(chǎng)景等，以確保選擇到最適合自己需求的氣體過(guò)濾器。

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