半導體氣體分配系統的安全性與穩定性,直接關系到生產的順利進行和操作人員的安全。深圳恒歌推出的密封接頭 VCR 過濾器,將高效過濾功能與可靠密封性能完美結合,成為保障半導體氣體系統安全運行的重要屏障。
密封接頭 VCR 過濾器采用全金屬材質打造,整體為 316L 不銹鋼結構,這種材質不僅具有出色的耐腐蝕性,能夠抵御各種腐蝕性氣體的侵蝕,還具備良好的強度和韌性,確保在高壓環境下不會發生變形或破裂。在半導體制造中,許多工藝氣體具有強腐蝕性和毒性,密封接頭的可靠性至關重要,316L 不銹鋼的選擇為過濾器的安全運行提供了堅實基礎。
作為專為半導體氣體分配系統設計的設備,密封接頭 VCR 過濾器在密封性能上表現卓越。其采用 VCR 密封接頭設計,通過金屬與金屬的緊密接觸實現可靠密封,相比傳統的橡膠密封,具有更高的耐溫性和耐腐蝕性,能夠在高達 400℃的溫度和高壓環境下保持良好的密封效果,有效防止氣體泄漏。
在接口兼容性方面,密封接頭 VCR 過濾器兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口,能夠與大多數半導體氣體系統的管路和設備實現無縫對接。這種廣泛的兼容性使得它可以靈活應用于不同的系統中,無論是 MFC 模塊前端的氣體預處理,還是精密閥門和穩壓設備的保護,都能發揮出色的作用。
安裝方式上,密封接頭 VCR 過濾器采用墊片式便捷安裝,作為表面密封的過濾器,無需對管道進行切割或焊接,只需通過標準的 VCR 接頭緊固方式即可完成安裝。這種安裝方式不僅簡單快捷,減少了安裝過程中的操作風險,還能保證安裝后的密封性能,避免因安裝不當導致的泄漏問題。
過濾性能是密封接頭 VCR 過濾器的核心優勢之一。其過濾精度≥0.3μm,能夠有效去除氣體中的微粒雜質,防止這些雜質進入敏感的氣體組件。在半導體氣體系統中,微粒污染可能會導致閥門卡滯、流量計精度下降等問題,嚴重時甚至會引發系統故障和氣體泄漏。密封接頭 VCR 過濾器的高效過濾能力,能夠有效避免這些問題的發生,保障系統的安全穩定運行。
針對不同壓力的系統管路,密封接頭 VCR 過濾器提供了高壓型和低壓型兩種選擇。高壓型適用于高壓系統,1/2’’規格的最大正向壓差為 2.9Mpa,1/4'' 規格的最大正向壓差為 10.4Mpa,流量范圍 0~300slpm;低壓型適用于低壓系統(VCR 過濾墊片),最大使用壓力 0.98Mpa,流量范圍 0~100slpm,同時還提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多種過濾精度,可根據具體工藝需求進行選擇。
此外,密封接頭 VCR 過濾器還可以在現有配管上安裝,無需對現有系統進行大規模改造,為企業節省了設備升級的成本和時間。對于半導體企業來說,這種經濟高效的防污解決方案,能夠在不影響生產進度的情況下,快速提升系統的安全性和可靠性。
深圳恒歌始終將產品質量和安全性放在首位,密封接頭 VCR 過濾器的每一個細節都經過精心設計和嚴格測試,確保其在各種嚴苛環境下都能穩定運行。它不僅是一個高效的過濾器,更是半導體氣體系統的安全屏障,為半導體生產的安全、高效進行提供了有力保障。
在半導體產業不斷發展的今天,對氣體系統的安全性要求越來越高,密封接頭 VCR 過濾器憑借其可靠的密封性能、高效的過濾能力和便捷的安裝方式,成為半導體企業的理想選擇。它將為半導體氣體系統的安全運行保駕護航,助力企業實現高質量生產。
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