在半導體氣體分配系統中，過濾墊片是保障氣體潔凈度的關鍵元件，其性能直接影響著整個系統的穩定運行。深圳恒歌研發的金屬過濾墊片，以全金屬結構為核心，結合卓越的過濾性能，成為半導體氣體過濾領域的可靠之選。

金屬過濾墊片采用 316L 不銹鋼整體打造，這種材質具有優異的耐腐蝕性和耐高溫性，能夠適應半導體制造過程中各種復雜的氣體環境和高溫工藝條件。與傳統的非金屬過濾墊片相比，金屬材質從根本上避免了因材料老化、分解而產生微粒的問題，確保不會對氣體造成二次污染，為氣體的潔凈度提供了堅實保障。

作為專為半導體氣體分配系統設計的過濾元件，金屬過濾墊片在接口適配性上表現出色，兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口。這使得它能夠輕松應用于不同規格的氣體管路中，無論是在 MFC 模塊、精密閥門還是穩壓設備的前端過濾，都能實現完美對接，為各類精密設備提供有效的顆粒防護。

安裝便捷性是金屬過濾墊片的一大優勢。它采用墊片式設計，作為表面密封的過濾元件，安裝時無需對管道進行切割或焊接等復雜操作，只需按照標準的 VCR 接口安裝流程進行緊固即可。這種安裝方式不僅簡化了操作步驟，縮短了安裝時間，還降低了因安裝過程不當而導致的泄漏風險，確保系統的密封性和安全性。

金屬過濾墊片的過濾精度≥0.3μm，能夠高效攔截氣體中的微小顆粒，防止這些顆粒進入敏感的氣體組件。在半導體制造中，這些微小顆?？赡軙е略O備磨損、性能下降，甚至引發氣體泄漏等嚴重問題。金屬過濾墊片的高效過濾能力，能夠最大限度地減少顆粒污染帶來的危害，延長設備的使用壽命，降低維護成本。

考慮到不同半導體系統的壓力需求，金屬過濾墊片分為適用于高壓系統管路和低壓系統管路(VCR 過濾墊片)兩種類型。適用于高壓系統的金屬過濾墊片，1/2’’規格的最大正向壓差可達 2.9Mpa，1/4'' 規格的最大正向壓差高達 10.4Mpa，流量范圍在 0~300slpm，能夠滿足高壓、大流量場景的過濾需求;適用于低壓系統的金屬過濾墊片，最大使用壓力為 0.98Mpa，流量范圍在 0~100slpm，同時提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多種過濾精度選擇，可根據不同的工藝要求靈活搭配。

金屬過濾墊片還具備在現有配管上安裝的能力，這為半導體企業的設備升級和改造提供了極大的便利。企業無需對現有的管路系統進行大規模改動，就能快速更換或加裝金屬過濾墊片，提升系統的過濾性能，以經濟高效的方式實現氣體潔凈度的提升。

在半導體制造過程中，泄漏風險是必須嚴格防范的問題。金屬過濾墊片通過與 VCR 接口的緊密配合，形成可靠的密封，同時其高效的過濾性能減少了微粒對密封面的磨損，進一步降低了泄漏風險，為半導體工廠的安全生產提供了有力保障。

深圳恒歌始終致力于為半導體行業提供高品質的過濾解決方案，金屬過濾墊片便是其中的重要成果。它憑借全金屬結構的可靠性、優異的過濾性能、便捷的安裝方式和廣泛的適配性，成為半導體氣體過濾的理想選擇，為半導體企業的穩定生產和產品質量提升提供了堅實支持。

無論是在大規模的半導體生產線上，還是在精密的研發實驗室中，金屬過濾墊片都能發揮穩定可靠的過濾作用，為半導體氣體分配系統輸送潔凈的氣體。選擇恒歌金屬過濾墊片，就是選擇了一種高效、可靠、經濟的過濾方案，讓半導體設備在潔凈的環境中高效運轉，為產業的發展貢獻力量。

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